中古 CANON / ANELVA ILC-1013 #9269410 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC-1013は、キヤノン株式会社が製造するDCマグネトロンスパッタリング装置です。産業用コーティング用途向けに設計された高性能スパッタリングシステムです。キヤノンILC-1013は、無線周波数AC電源を使用して高密度プラズマアークを作成し、さまざまな材料をスパッタするために使用します。高密度プラズマアークは、従来のDCスパッタリングシステムよりもはるかに高いイオン化効率を可能にし、優れた蒸着速度をもたらします。ANELVA ILC-1013は、基板の一貫性を最大限に高めるために、しっかりと制御されたウェーハ転送ユニットを備えています。機械の非常に効率的な設計は、最終コーティングの全体的な均一性と地形を改善します。さらに、ILC-1013は基板の正確な位置決めを誇り、比類のないスパッタの均一性と基板温度の厳格な制御を可能にします。CANON/ANELVA ILC-1013には、温度制御、ガス流量制御、マルチターゲット動作など、さまざまな制御オプションがあります。CANON ILC-1013は、低電圧監視ツール、帯電防止保護、基板クリップ保護など、さまざまな安全機能も備えています。それは頑丈なステンレス鋼の貝と内部の金属の盾と設計され、最終的な保護を提供し、汚染の外的な源から保護します。作動するとき、ANELVAのILC-1013は管理された大気で保たれなければなりません。この資産は、温度を調節し、クリーンな環境を維持するために冷却システムと避難システムの両方を利用しています。すべてのコンポーネントは集中型の真空制御ユニット（VCU）によって接続され、途切れることなく真空とプロセスの安定性を確保します。ILC-1013はコーティングプロセスの良質そして一貫性を要求する適用のための理想的な選択です。多種多様な材料の堆積が可能であり、医療、自動車、半導体製造など様々な産業用途に使用できます。モデルの高度な機能は、すべてのタイプの堆積物のための貴重なツールになります。