中古 CANON / ANELVA ILC 1013 #9068935 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1013は、さまざまな用途に使用される特殊なタイプのスパッタリング装置です。CANON ILC 1013は、スパッタ（ソース）チャンバー、クライオポンプチャンバー、蒸着チャンバーの3つの主要コンポーネントを備えた3チャンバーシステムです。イオンレーザーコンポーネントのアライメント技術（ILCとも呼ばれる）を搭載しており、大型基板上で小型の機能を動作させる際の究極の精度を提供します。スパッタチャンバーには、金属、セラミックス、誘電体などの異なるターゲット材料が陰極チャンバーに取り付けられています。このチャンバーには、低圧（1mtorr）でArガスが供給され、その時点で適切なターゲットメディアがDCマグネトロンからイオンのフラックスを受けます。電圧と電流レベルを変化させることで、スパッタ材料の浸食率と組成を制御することができます。クライオポンプは、液体窒素を使用して、~ 10-8 torrの真空をサポートします。これは、窒素の熱伝導率、真空壁の熱伝導率、およびクライオポンプによって生成される磁場の組み合わせによって行われます。クライオポンプは非常に均一でクリーンな蒸着環境を提供します。堆積チャンバーには、材料を堆積させる基板が含まれています。これは、フィルムの厚さにあらかじめ決められた速度で基板を1つの位置からもう1つの位置に移動させる連続的な伝達メカニズムによって行われます。蒸着速度を変化させるためにスパッタレートコントローラを使用します。結論として、ANELVA ILC 1013は、ILCアライメントなどの高度な技術を取り入れた最先端のスパッタリングマシンであり、小さな機能に最適なアライメントを提供します。スリーチャンバーアーキテクチャは、均一でクリーンな蒸着を保証するスパッタとクライオポンプの両方を備えています。基板は成膜チャンバー内に特別に配置され、所定の速度で連続的な搬送メカニズムを受けます。このツールのおかげで、金属、セラミックス、誘電体の堆積など、さまざまなアプリケーションを達成することができます。