中古 CANON / ANELVA ILC 1012 MK II #9068933 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC 1012 MK IIは真空コーティング用に設計された特殊なスパッタリング装置です。このシステムには、静止したマルチマグネトロンカソードのセットアップと、可動式のマルチマグネトロンアノードで構成されるコールドエッジガンが装備されています。この組み合わせは、非常に大きな喉のサイズを含む、従来の電子ビームシステムよりもいくつかの利点を可能にし、大きなコンポーネントの効率的なスパッタリングを可能にします。コールドエッジガンは、他の電子ビームシステムよりも高い圧力を使用することもできます。CANON ILC 1012 MK IIは、お客様の用途に合わせたスパッタリングチャンバー構成を提供します。25cmワークチャンバーで構成された標準構成は、最大4つのターゲット材料を同時に処理することができます。このチャンバーには5cmのアクセスポートがあり、0。6Mbarベース圧力と0。2Mbarターボポンプが装備されています。オプションの8 cmプロセスチャンバーも用意されており、0。45 Mbarベース圧力と0。1 Mbarターボポンプを備えています。このユニットは、最大24個の電源を管理する制御ユニットで設計されており、機械パラメータを正確に制御できます。一元化された制御データベースにより、複数のレシピを保存し、アプリケーション間で迅速かつ簡単に変更できます。さらに、統合された障害検出ソフトウェアは、操作中にツールを継続的に監視し、不規則性が発生した場合にユーザーに警告するフラグを上げます。ANELVA ILC 1012 MK IIは、操作とメンテナンスを容易にするさまざまな機能を備えています。これらには、資産のエネルギー消費量を継続的に監視する省エネ・モードと、モデルをセットアップして操作するための使いやすいタッチスクリーンインターフェイスが含まれます。さらに、この装置はハイスループットに対応するように設計されており、典型的なサイクルタイムはわずか2分です。堅牢な構造と高品質の材料の使用は、システムのための長い寿命を保証します。これは、ユニット全体で使用される工業用グレードの部品と組み合わせて、非常に信頼性が高く再現性の高いプロセスをもたらします。全体として、ILC 1012 MK IIは、幅広い産業および研究用途の要求を満たすことができる信頼性が高く、汎用性の高いスパッタリングマシンです。キヤノン/ANELVA ILC 1012 MK IIは、大きな喉のサイズ、高圧機能、簡単な操作とメンテナンスだけでなく、省エネ機能を備え、真空コーティングに関与するあらゆる業界にとって理想的な選択肢です。