中古 CANON / ANELVA ILC-1012 Mark II #9269327 を販売中

キヤノン/ANELVA ILC-1012 Mark IIは、さまざまな薄膜コーティング用途向けに設計された先進的なスパッタリング装置です。このシステムは、スパッタリングカソード、プラズマ発生電源、ガス供給、および回転テーブルで構成されています。中心部には、スパッタリング工程における効率的なイオン爆撃に不可欠な高密度プラズマを生成するための誘導結合プラズマ（ICP）コイルを備えています。ICPコイルは、最大5。8 kW/cm2の電力密度を持つアルゴンなどの様々な高貴なガスのプラズマを生成します。これにより、特に金やイリジウムなどの高温コーティングに幅広いスパッタリング用途が可能になります。スパッタリング陰極の後ろに設置された磁石が、対象物質から放出された粒子を基板で低く保ち、コーティング効率を高めるマグネトロンスパッタリングの物理現象を利用するように設計されています。直径13。1cmの長方形のターゲットを備え、最大10kgを保持します。ターゲットは、基板のカバレッジのためにさえ360度を回転させることができ、スパッタ粒子を生成するために金などの材料の薄膜でコーティングされています。このツールには、高密度プラズマを生成するために使用される様々な高貴なガスの5つのガスボトルを収容するガス供給も装備されています。これらのガスの圧力と流れは、スパッタリングプロセスを最適化するために、メインコントロールパネルから正確に調整することができます。また、高精度な回転テーブルにより、基板の精密かつ均一なコーティングが可能です。テーブルは最小ステップサイズ5 rpmで毎分0から6000回転まで回転でき、コーティング厚さを正確に調整できます。CANON ILC-1012 Mark IIは、多種多様な用途に対応した高品質の薄膜コーティングが可能なパワフルかつ高効率なスパッタリングモデルで、コーティングおよび成膜ラボに最適です。