中古 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9197712 を販売中

CANON I-1060SV2+1は、さまざまな研究および産業用途向けに設計された高度なスパッタリング装置です。このシステムは、高度なDCマグネトロンスパッタリングを使用して、高い均一性を持つ高率の成膜用に設計されています。複数のターゲットから材料を高速で基板に蒸発・堆積させることができます。フラット基板から外部円筒ターゲットまで、幅広い基板サイズと形状を提供し、最大2つの異なるターゲットを同時に処理できます。I-1060SV2+1マシンは、高精度で均一なフィルム構造を提供するように設計されています。マルチマグネトロンDCスパッタリングソースを備えた4軸オートハンドリングロボットツールで構成されています。可変界回転マグネトロンスパッタリングアセットを使用することで、最適な均一性を実現します。これは、オプションの傾斜シャドウ型マルチターゲットマグネトロンスパッタリング源によって補完されます。このモデルは、ユーザーフレンドリーなタッチアクションコントロール（TAC）ユニットを備えています。これにより操作が容易になり、ユーザーはコーティング仕様をカスタマイズすることができます。また、データ監視とデータ分析の両方に2つのモニター表示を提供します。さらに、I-1060SV2+1装置は、反応スパッタリング、HiPIMS、マルチコンポーネントプロセスなど、より複雑なバルクプロセスを実行することができます。安全性の面では、スパッタリングガスへのオペレータおよび環境暴露を低減するために、システムには不活性な大気チャンバーと高真空コンテナシールドが装備されています。また、範囲外の場合には動作を停止するインターロックもあります。結論として、ANELVA I-1060SV2+1は、高度なDCマグネトロンスパッタリングユニットであり、高い均一性を備えた高レートフィルム成膜を提供するように設計されています。自動ロボットハンドリングマシンと使いやすいTACユニットを備えており、操作が簡単です。さらに、このツールには、オペレータとスパッタリングガスへの環境暴露を低減するための安全機能が選択されています。