中古 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9177921 を販売中

CANON I-1060SV2+1は、薄膜成膜用に設計された多目的スパッタリング装置です。様々な金属、合金、酸化物、窒化物およびその他の材料を基板に堆積させ、望ましい特性を持つ薄膜を作成するために使用されます。このシステムは、真空チャンバ、強力なマグネトロンスパッタリング源、均一な蒸着用の回転基板ホルダー、ガス供給ユニット、および機械を監視および制御するための広範なプロセスコントローラを含むいくつかのコンポーネントで構成されています。真空チャンバーはステンレス製で、シャワーヘッドスパッタターゲットインサートを内蔵した円筒形設計です。スパッタリングチャンバーを監視する内部ビューポートを備えており、10-3〜10-8 torrの可変圧力範囲と10-9 torrの基圧を備えています。マグネトロンスパッタリング源は、最大出力20kwの2つの高出力ハロゲンランプで構成されています。イオン化率が高く、スパッタまで幅広い材料を提供します。回転基板ホルダーは、0。2から10RPMまでの調整可能な速度で回転するようにプログラムすることができ、基板全体に均一な蒸着を作成します。このツールには、さらなる均質性のための発振関数も含まれています。ガス供給アセットは、望ましい処理パラメータのためにチャンバーにガスを導入するために使用されます。モデルは0-100sccmのガス流量を持ち、合計ガス圧力容量は10-3から10-8 torrです。ANELVA I-1060SV2+1装置に操作の間に変数および変更の設定を監視する有効なプロセスコントローラーがあります。これには、プログラム可能なチャンバ圧力インジケータ、温度インジケータ、電源電圧計が含まれます。このシステムは、電気インターロック保護スイッチを備えた過熱および過圧警報も備えています。全体として、CANON/ANELVA I-1060SV2+1は、信頼性の高い性能と効果的な成膜を提供するように設計された高度なスパッタリングユニットです。革新的な技術を利用して、ユーザーに利用可能な最新のマシンを提供します。幅広い機能とコンポーネントにより、薄膜成膜業界での研究および生産アプリケーションの両方に理想的なツールとなります。