中古 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9144048 を販売中

CANON I-1060SV2+1は、各種基材に薄膜をコーティングする自動スパッタ装置です。このシステムには、最大10インチのウェーハに対応できる5ポケットの大容量ウェーハローディングチャンバーが装備されています。このユニットは、独立して制御することができ、基板全体にわたってより大きな沈着均一性を提供する多面カソードを使用しています。機械に磁気およびeビームのスパッタリングのための2つの陰極があります。陰極の源はeビームの特定のスパッタリングを遂行するための3つおよび規則的なスパッタリングのための2つを含んでいる。部屋の壁はステンレス鋼からなされ、増加のコーティングの均一性のための基質へのアルゴンのような低い反応性の貴ガスの均一な、均一な配分を提供します。このツールは、複数の回転ターゲットと独立した陰極を使用して基板表面全体に均一な膜を提供することにより、基板全体のコーティングの優れた均一性を達成することができます。このアセットはまた、基板全体の均一性を可能にするリモート蒸着制御を提供します。このプロセスは、ストイキオメトリックターゲットを使用して効果的に制御することができ、各カソードの電源設定を個別に調整して堆積率を制御することができます。ANELVA I-1060SV2+1は最低の汚染物および優秀なプロセス均一性の高い沈着率を達成できます。また、温度制御された発熱体と温度プローブを備えており、均一な成膜を実現しています。カセットシャトル搬送装置は、真空下で基板交換を行うことでチャンバーボトム蒸着を低減し、コーティングの均一性を高めるように設計されています。結論として、CANON/ANELVA I-1060SV2+1スパッタリングシステムは、さまざまな基材に薄膜を均一にコーティングするために設計されています。それは2つの独立して制御された陰極および回転ターゲット、またコーティングの均一な沈殿を保障する遠隔沈殿制御および温度調整された要素を特色にします。このユニットは、品質、均一なコーティングを実現しながら、汚染物質を最小限に抑えた高い沈着率を提供します。