中古 CANON / ANELVA I-1060 #9148536 を販売中

CANON/ANELVA I-1060は、半導体および関連製品の製造において主に薄膜成膜に使用される高精度スパッタ装置です。半導体ウェーハやガラスなど、さまざまな基板上に均一で再現性のある薄膜成膜を提供するよう設計されています。ユニットは、基板ホルダーとスパッタリング源とターゲットを収容する真空台チャンバーで構成されています。真空機械は、チャンバーに導入される反応ガスを提供するガスラインに接続されています。CANON I-1060は、ウェーハカバレッジに優れたターゲットを達成するために、磁気スパッタリングを行うように設計されています。このツールには、マグネトロンスパッタ源に制御された電力を供給する可変電源が装備されています。また、ステッピングモータ駆動のXYステージを採用し、ウェーハ全体の均一なコーティングのためのサンプルホルダーの正確かつ正確な動作を保証します。また、ANELVA I-1060には、基板上の材料の個々のイオン化を測定する高位置デバイスも装備しており、薄膜の均一な厚さを確保しています。薄膜の特性を測定するために、モデルには、ウエハの異なる点で材料特性を分析するための分光計および/または楕円計が装備されています。また、メンテナンスが容易な設計となっており、さまざまな安全機能を備えています。これらには、オペレータと環境の安全性を確保するのに役立つ機能が含まれます。このシステムには、潜在的な問題を識別およびトラブルシューティングするための自動故障診断ユニットも含まれています。全体的にI-1060は、半導体業界で使用されるさまざまな基板に一貫した均一な薄膜成膜を提供するように設計された、十分に設計されたスパッタリングマシンです。このツールには、ウェーハ全体の均一なコーティングを保証するだけでなく、薄膜の特性を分析するためのさまざまな機能が含まれています。また、安全な操作と最適なパフォーマンスを確保するためのさまざまな安全およびメンテナンス機能が含まれています。