中古 CANON / ANELVA I-1060 #9144792 を販売中

CANON/ANELVA I-1060は、高純度で均一な薄膜を製造することができる高精度、工業用グレードのスパッタリング装置です。キヤノンが開発したこのシステムは、ソーラーパネル、フラットパネルディスプレイ、タッチパネル、光学記憶媒体など、様々な用途で広く使用されています。CANON I-1060は、高性能マグネットを利用してプラズマイオンを適切な形状の電気絶縁基板に推進する垂直マグネトロンスパッタユニットです。この方法により、ユーザーは堆積率、堆積物の均一性、およびその他の重要なパラメータを高度に制御することができます。この機械はまた、ほぼすべての厚さのフィルムを製造する能力を提供し、非常に薄い層を必要とするアプリケーションに最適です。ANELVA I-1060は、選択したプロセスに応じて、1〜10〜3 mbarの圧力を達成し、真空レベルの広い範囲を提供します。これにより、ツールをさまざまな基板やアプリケーションの要求に適応させることができます。I-1060はまた、チャンバークリーニング機能だけでなく、ウェハリムーバルシステムの様々な提供しています、無人操作を可能にします。さらに、自動ガスフロー制御モデルと微細なモーションポジショニング装置により、蒸着プロセス全体を精密に制御します。CANON/ANELVA I-1060には、RF、 DC、 パルスDCスパッタリングなどがあり、酸化膜、導電層、合金膜の製造が可能です。このシステムは、超高真空アプリケーション用の内部フィードスルーとマルチステップ自動チャンバークリーニングユニットを備えています。また、平面カソード、スパッタガン、回転カソード、三重波マグネトロンなど様々なコーティング源に対応しており、高い蒸着率と特異度の高い薄膜コーティングを実現してI-1060ます。全体として、ANELVA I-1060は、最高水準の品質を守りながら、包括的な成膜能力を提供する優れたスパッタリングマシンです。その柔軟性、信頼性、精度により、高性能を要求するさまざまな産業用途に適しています。