中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII #9255321 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1060 SVIIは、高いスループットと高性能を実現する最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、高出力、高周波、無線周波数（RF）スパッタリング源、高電圧高電流DC電源、ターボ分子ポンピングユニット、および統合真空機で構成されています。RFスパッタリング源は、さまざまな材料の薄膜を異なる基板に堆積させるために使用されます。DC電源は、スパッタリングにバイアス電圧を供給し、結晶度、粒度、気孔率などの特性を達成しながら、蒸着速度を向上させます。ターボ分子ポンピングツールは、スパッタリングチャンバーの高真空レベルを達成するために使用され、統合された真空アセットは、一定の真空圧力を維持するために使用されます。キヤノンI-1060 SVIIは、スパッタリングチャンバーのサイズが600mm×600mm×600mmで、最大出力が1。2kWです。シリコン、ガラス、セラミックス、ガラスなどの基板に薄膜や層を大面積に成膜するために設計されています。高速移動機構を備えており、効率的な位置決めとプロセス制御を可能にし、均一性と再現性の高い結果を得ることができます。また、マスフローコントローラを使用した蒸着速度の追加外部制御も備えています。ANELVA I-1060 SVIIには、スパッタリングプロセスを自動的に監視および制御するために使用できるソフトウェア制御装置が付属しています。このシステムは、リアルタイムプロセスデータを提供することができ、直感的なユーザーメニューを持っているタッチスクリーンインターフェイスを持っています。さらに、このユニットは、簡単なデバッグと問題解決のために、プロセス中に日付とタイムスタンプを持つログファイルを生成します。このソフトウェアは、スパッタリング沈着プロセスの問題を診断するための画面上のヘルプも提供します。I-1060 SVIIは、より長い耐用年数を保証する工業規格の設計と堅牢な構造を持っています。それはまた振動および衝撃抵抗のために堅い作動条件に抗できることを保障するためにテストされます。機械には、電気保護スイッチや緊急停止スイッチなどの安全機能も含まれており、あらゆる環境で安全な動作を保証します。さらに、このツールにはクイックコネクト設計が付属しており、簡単にインストールできます。結論として、CANON/ANELVA I-1060 SVIIは、高いスループットと高性能を提供する信頼性が高く、強力で効率的なスパッタ蒸着アセットです。直感的なソフトウェアコントロールモデル、堅牢な構造、安全機能を備えているため、研究および産業用のさまざまなアプリケーションに適しています。