中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII #293821353 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1060 SVIIは、電子部品の製造に使用される高度なスパッタ装置です。Ni、 Ti、 Mo、 W、 Siなど多種多様な材料をスパッタリングすることができ、高真空スパッタリングチャンバーとヘビーデューティ真空チャンバーに収納されたスパッタガンを備えています。スパッタガンには、調節可能な高さのスタンドと2つのスパッタヘッドが装備されており、基板の均一なコーティングを保証します。ユニットは、その手動回転プラットフォーム上で直径340mmまでの基板を収容することができます。CANON I-1060 SVIIは、堅牢なタッチスクリーンベースのコントローラによって制御され、さまざまなスパッタリング技術を利用しています。DC、 パルスDC、高周波ACスパッタリングなど、さまざまなソースと互換性があります。機械に高い沈殿率、よい均等性、低い微粒子の放出およびターゲット材料の両立性の広い範囲があります。また、高温および低温の最小最大温度コントローラを備えており、動作中に正確な温度管理が可能です。ANELVA I-1060 SVIIは、インラインおよびバッチ型スパッタプロセスの両方で動作できます。インラインプロセスでは、1本のスパッタガンで基板を連続コーティングし、バッチプロセスでは複数の基板を別々のバッチでスパッタリングします。例えば、1000基板を含むバッチプロセスを約10分で完了させることができます。このツールは、UV硬化、PVD/CVDハードコーティング、およびロードロックなどの他の機器と結合することもできます。I-1060 SVIIは、高品質の耐食性ステンレス鋼で作られており、ユーザーの安全を確保するために安全シールドと緊急シャットオフが装備されています。アセットは保守可能で、フィルタに簡単にアクセスできます。全体として、CANON/ANELVA I-1060 SVIIは信頼性の高い高性能スパッタリングモデルで、精密で均一なコーティングでさまざまな電子部品を製造するための経済的で効率的なソリューションを提供します。スパッタリング技術の広い範囲とそのバッチとインライン処理能力は、信頼性と費用対効果の高いスパッタリング機器を探しているメーカーにとって理想的な選択肢です。