中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9171868 を販売中

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1は、高度なマイクロエレクトロニクスおよび光学アプリケーション用の基板に薄膜を堆積するように設計されたシングルチャンバー、高真空スパッタリング装置です。このユニットは、アクティブステージのターボ分子ポンプによって達成される2x10-6 Torrのベースプレッシャーを備えています。I-1060によって提供される最高のスパッタリング力は5kWであり、それにさまざまな適用のために適したように0-10％の調節可能な力の範囲があります。ユニット背面に取り付けられた絶縁チューブは、マグネトロンスパッタリングに追加のパワーを提供します。さらに、I-1060は高真空シャッターを備えており、基板の積み下ろしチャンバとフィルム成長チャンバを分離します。I-1060は、直径60cmまでのさまざまなターゲットに対応でき、目標面積は170cm2です。マイクロプロセッサシステムを使用して設定できる0。1-30cm/minの可変スパッタ速度を備えています。I-1060にテーブルに取り付けられた電極は、電子をターゲット材料に転送する電場のための地面を提供し、プラズマ形成をもたらします。テーブルマウント電極（TME）は、堆積層の均一性を高め、テクスチャフィルムの形成を可能にします。このユニットには、4段階の荒削りユニット、メンテナンス真空バルブ、パージ機、3ミクロンフィルター、2つのバッフル、およびポンプラインも備えています。さらに、温度補償ツールを備えたデジタルコントローラにより、操作が容易になり、スパッタパラメータに必要な調整を行うことができます。I-1060は正確な膜厚制御を提供し、膜厚の差は10％未満です。また、このモデルには、品質管理を確実にする薄膜検査資産も含まれています。さらに、I-1060は、スパッタリング工程中にアルゴン、窒素、O2、 H2、 N2などの様々なガスを利用しています。それとは別に、高度なリモート診断と安全メカニズムは、機器の性能を高め、潜在的な損傷から保護します。