中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9120224 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1060 SVII Plus 1は、物理スパッタリングプロセスと化学スパッタリングプロセスの両方を実行するために設計された最先端の多目的スパッタリング装置です。この高性能スパッタシステムは、薄膜、マルチレイヤー、複合材など、さまざまな材料用途に対応できます。MEMS （Micro-Electro Mechanical Systems）アプリケーション、半導体、センサ、オプトエレクトロニクスなど、精密スパッタリングを必要とする業界での使用に最適です。このユニットは、可能な限り最高のマイクロ波出力を維持しながら、機械サイズを削減するように設計された中周波電源（MFPV）を使用しています。これにより、高いスパッタリング速度でもスパッタリング工程の均一性を実現します。CANON I-1060SVII PLUS-1は、トップマウントメインツール（ソース、スイッチ、チャンバーを含む）と人間工学に基づいて設計されたオペレーターコンソールで構成されています。また、ボトムマウントマグネトロンスパッタリングヘッドとソース、および独立したスパッタソースとターゲットアセンブリを備えています。また、自動パワーフィードバック、デジマティックコントロール、高速プロセス制御、データロギングモデルなど、画期的な測定および制御機能も備えています。これにより、スパッタ蒸着速度の正確な制御と、プロセスの最適化とプロセス能力の向上のための情報を記録する機能が保証されます。スパッタヘッドとソースは、多くの用途に必要な均一性と再現性を最大化するように設計されています。極めて小さなスパッタ粒子を生成することができ、ナノ構造の薄膜を均一に生成することができます。これは、高度な電子機器、センサ、MEMS製品にとって大きな利点です。この装置は、さまざまなスパッタリングプロセス要件に対応するための優れた柔軟性を提供し、各アプリケーションをカスタマイズすることができます。これには、自動ターゲット交換、デュアルソーススパッタリング、シャットダウンおよび再開開始操作、およびシステムの最高の生産性と信頼性を確保するためのノズル洗浄操作が含まれます。ANELVA I-1060 SVII PLUS-1は、最高のスループット、精度、および表面処理の信頼性に必要なすべての機能を備えています。