中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293830304 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1060 SVII Plus 1は、薄膜成膜用に設計された高性能スパッタリング装置です。並列スパッタリング技術を利用して、蒸着速度と均一性を向上させ、パッシベーション、バリア層、接触層、電極材料など、さまざまな用途に適しています。このシステムには、シングルソースとデュアルソースの両方のスパッタリングに使用できる高出力の無線周波数（RF）発電機が装備されています。その真空チャンバーは、簡単な操作とメンテナンスのために設計されています。内蔵のターボポンプは、低い背景圧力を保証し、別のゲッターポンプの必要性を排除します。ユニットのフローティング、ステンレス鋼アノードプレート（ターゲットホルダー）は、均一な蒸着を保証し、必要に応じて、追加のエッチングとクリーニング、およびリバースバイアスパッタリングに大容量のイオンガンを使用できます。この機械には、酸素、窒素、アルゴンなどの反応ガスを堆積させるためのガス供給ツールが含まれています。さらに、アセットは、水を使用せずに室温と300°Cの間の温度を制御することができます。CANON I-1060SVII PLUS-1は、0。1〜5kWの範囲のスパッタリング電力を提供し、選択可能な周波数は13。56MHzです。それは沈殿させたフィルムをアニールするのに使用することができる強力な水晶ランプが装備されています。追加の利点として、モデルは、ユーザーが任意の場所から堆積パラメータを監視し、調整することができ、リモート監視および制御機器を備えています。全体として、ANELVA I-1060 SVII PLUS-1は、信頼性の高い高性能スパッタリングを手頃な価格で必要とするアプリケーションに最適です。高度な機能と汎用性を兼ね備えているため、幅広い堆積プロセスに適しています。