中古 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293643648 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1060 SVII Plus 1は、精密コーティング用途向けに設計された多機能スパッタリング装置です。プロセスステップを1つの操作に組み合わせることで、効率を高めることができます。本体、電源、フィルターハウジング、4つのスパッタリングターゲットで構成されています。本体には、チルテーブル、基板チャッカー、回転シャッター、真空チャンバーがあります。基板チャックは、テーブル上の基板の配置と整列に使用され、スパッタリングプロセス全体にわたってその向きを維持するのに役立ちます。キヤノンI-1060SVII PLUS-1の電源は最大7500 Wの電力供給が可能で、幅広いスパッタリング用途に対応できます。フィルターハウジングを使用すると、異なるフィルターから選択してプロセス制御を強化できます。4つのスパッタリングターゲットは、最大4つの異なる材料の同時スパッタリングに使用できます。これにより、多層コーティングだけでなく、基板の組み合わせや組成の様々な組み合わせを可能にします。ANELVA I-1060 SVII PLUS-1は、高度なコンピューター制御ユニットも備えています。スパッタリングプロセスを監視し、パワー、ターゲット材料、基板サイズ、厚さ、蒸着率などのパラメータを制御することができます。これにより、スパッタリングプロセスを正確に監視および最適化できます。反復可能な結果を確保するために、このツールはまた、過剰スパッタリングを防ぐために自動停止機能を備えています。ANELVA I-1060SVII PLUS-1は、運用中の資産の安全な動作を確保するための安全インターロックを含む強化された安全パッケージを備えています。このモデルには、プロセスガスを制御し、スパッタチャンバーに一貫した供給を提供するためのガス制御装置も含まれています。ANELVA I-1060 SVII Plus 1は、高いスパッタリング速度、高い蒸着速度、低いフィルム応力、プロセス制御の向上など、精密コーティング用途に幅広い利点を提供します。また、高い信頼性と柔軟性を備え、幅広いスパッタリング用途に適しています。これにより、小さな実験室サンプル分析から大規模な生産まで、コーティングおよび表面処理アプリケーションに最適です。