中古 CANON / ANELVA I-1012 #9148534 を販売中

キヤノン/ANELVA I-1012スパッタ装置は、精密で信頼性の高い、制御性の高い薄膜成膜を提供するために開発された先進的な産業用具です。このシステムは、2つの平面カソード（または電子銃）、高電圧DC電源、および真空ユニットを備えたメインチャンバーで構成されています。印加された陰極電圧と電流は独立して変化させることができ、制御された均質なスパッタリングプロセスを可能にします。密閉ループガスフローコントローラも付属しており、ターゲットへの材料の正確な配送と蒸発を保証します。CANON I-1012は、直径12インチまでのターゲットに対応でき、チャンバーサイズは3立方フィートまでの加工が可能です。この機械は、金属、セラミックス、酸化物、窒化物などのさまざまな材料のスパッタコーティング堆積を可能にするように設計されています。それは紙、プラスチック、ガラス、シリコン、銅、アルミニウム、ステンレス鋼を含むさまざまな基質に、タングステン、チタン、バナジウムなどの最も硬い金属でさえも堆積する能力を持っています。ANELVA I-1012は、膜均一性に優れ、厚さと組成公差は約± 1％です。このツールの1〜2秒のサイクルタイミングは、バッチ処理に最適です。I-1012はまた、ターゲットの広い領域に均一で再現性のあるコーティング厚さのために、独立した電極制御を備えています。さらに、診断アセットが内蔵されており、パフォーマンスのトラブルシューティングとモニタリングを支援して、プロセスを改善し、機器の故障やプロセス障害によるダウンタイムを削減します。CANON/ANELVA I-1012は、安全性を最大限に高めるために、2つの過圧システムによって保護されています。さらに、このモデルには包括的な安全アラームが標準装備されています。また、プロセスサイクル全体でチャンバー圧力を自動的に維持するための制御も備えています。また、包括的なリモート監視機能を備えており、最大25チャネルのプロセスデータをユーザーに提供し、トラブルシューティングと調整を簡単に行うことができます。全体として、CANON I-1012は、制御性が高く均一で精密な薄膜成膜を実現する理想的な産業ツールです。このシステムは、ユーザーの安全性と利便性を念頭に置いて、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。