中古 CANON / ANELVA EVP-36737 #9048856 を販売中

キヤノン/ANELVA EVP-36737スパッタ装置は、薄い層の材料を支持面に堆積させるために使用される技術の一種です。このスパッタリングシステムは、蒸着ユニットのヘッドを内蔵した真空チャンバーと電子ガンアセンブリで構成されています。真空チャンバーは、最大1。5 x 10-4 Paの高真空の動作を可能にするように設計されています。水冷機能を備えたゲートバルブを使用して、チャンバー内の真空圧力を調整し、最適な蒸着条件を可能にします。統合された蒸着ヘッドには1つまたは複数のスパッタリング陰極があり、材料を支持面に直接堆積させることができます。スパッタリング陰極は、目的の蒸着材料の材料特性に合わせて、さまざまなタイプのターゲットを取り付けることができます。スパッタリング工程は、ガンアセンブリからの電子ビームによる標的の爆撃で構成され、標的からの材料がスパッタオフして基板に堆積する。電子銃のアセンブリは電子銃、フィラメント、修正のキットおよび偏向器の版から成っています。高出力密度下で金属と誘電体の両方をスパッタすることができ、電子ビームの位置と強度を制御するために手動およびデジタルの両方で調整することができます。これにより、蒸発面積の大きさと支持面の堆積物の厚さを制御することができます。キヤノンEVP-36737スパッタリングマシンは、ウェーハやフィルムなどの繊細な素材へのコーティング成膜、太陽電池やフラットパネルディスプレイの製造など、幅広い用途に対応しています。高い精度と再現性により、自動車部品、エレクトロニクス、精密機器など幅広い基板に適しています。さらに、堆積プロセスをリアルタイムで監視できるため、より効率的な生産プロセスと堆積物の品質管理が可能です。全体的に、このスパッタリングツールは、信頼性と再現性の高い方法で幅広い堆積プロセスを実行するために使用することができます。