中古 CANON / ANELVA EVD-500A #293649687 を販売中

CANON/ANELVA EVD-500Aは、さまざまな基板に幅広い材料を正確かつ均一に蒸着するために設計されたスパッタ装置です。このシステムは通常、高温（摂氏850度まで）で材料を堆積させるために使用され、工業生産や実験室の研究に適しています。ユニットはメインチャンバーと電源の2つの主要コンポーネントで構成されています。主要な部屋は材料が基質にスパッタされるスパッタターゲットを収容するように設計されている長方形の、密封された容器です。チャンバーは低圧と均一な圧力で動作するように設計されており、均一な蒸着を確保するために最適なレベルのガス流量を維持します。電源はDC電源とスパッタガンで構成されています。DC電源は、チャンバ内部のスパッタ条件を作成するために必要な高い電力を生成するために使用されます。スパッタガンは、電源に接続された陰極と陽極で構成され、それらの間に電気アークを作成します。このアークは、スパッタターゲットと衝突するイオンの流れを生成し、基板上に放出されるプラズマ場の粒子を生成します。スパッタ粒子は、サセプタプレート上のチャンバーの中央に配置されている基板に向けられています。プレートは所望の温度に加熱され、粒子がその上に衝突して均一なコーティングが行われます。蒸着速度は、パワーレベル、スパッタガン、チャンバー圧力によって決定されます。キヤノンEVD-500Aは、高効率で信頼性の高いスパッタリングマシンです。それは良質および均一コーティングを提供する産業および実験室の適用のために適しています。このツールは使いやすく、メンテナンスも簡単で、オペレータの安全を最大限に高める高度な安全機能を備えています。