中古 CANON / ANELVA EVC-1701 #9290305 を販売中

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CANON / ANELVA EVC-1701
販売された
ID: 9290305
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Evaporators, 6" 1996 vintage.
キヤノン/ANELVA EVC-1701は、ナノ構造材料をコーティングするためのユニークな機能を備えた高度な低温スパッタリング装置です。このシステムは回転式の傾斜可能なスパッタリングチャンバーを備えており、ユーザーは大きな表面領域に均一な膜の堆積を達成することができ、その結果、より高いスループットと高品質のコーティングとナノ粒子が得られます。独特な傾斜可能で方向性の高いRFスパッタソースにより、スパッタビームの発生角度を正確に制御できます。これにより、材料使用率の向上、プロセス制御の向上、およびフィルム特性の再現性の向上が可能になります。キヤノンEVC-1701ユニットは、高性能の低温圧縮機と熱交換器を備えており、活性化要素とスパッタリングチャンバーの高速冷却を可能にします。冷却機は、ガス圧力を低減しても安定した信頼性の高いプロセスを保証するために、必要なレベルの熱および活力制御を提供します。これにより、広範囲にわたってナノ材料を均一に堆積させることができます。このツールの一部として、温度制御サンプルホルダーもあり、効率的な熱交換、サンプル処理の改善、結果の再現性の向上を可能にします。機械はオペレータおよび環境を保護する高度の安全機能が装備されています。ガス封じ込めシステム、温度制御安全システム、圧力管理システムなどがあります。この資産には、圧力、温度、およびその他のパラメータを測定するための複数の指標も装備されています。これらのインジケータは、モデルのパフォーマンスをリアルタイムで表示し、ユーザーにプロセスに関する貴重なフィードバックを提供します。これにより、最高品質の結果を保証するために必要に応じて設定を調整することができます。ANELVA EVC-1701装置は、高度なスパッタリング技術の素晴らしい例であり、処理性能の向上とコーティングおよびナノ粒子の品質の向上を提供します。その高性能の冷却システム、活性化要素の正確な制御、および多数の安全機能により、信頼性の高い再現可能な操作と優れた品質の結果が得られます。
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