中古 CANON / ANELVA EVC-1701 #9282622 を販売中

CANON/ANELVA EVC-1701は、半導体デバイスの製造に使用されるように設計された高レベルのスパッタ装置です。バリアやパッシベーション層に使用される材料など、様々な材料を基板に正確に堆積させるための先端技術を活用しています。このシステムは、大規模な基板に対して一貫した入金率と均一性を確保する統合オートメーション機能を備えています。このユニットには、アルミニウム、銅、ジルコニウム、塩素などの幅広い材料を保持してスパッタすることができる2つの大きな6ポケット回転カソードが装備されています。また、プロセス中に均一な堆積層を作成し、維持するのに役立つ高周波磁場も含まれています。このマシンにはマルチディスク基板ロボットトランスファーツールが含まれており、さまざまなサイズと形状の基板をメインチャンバーからローディングおよびアンロード場所に正確かつ迅速に転送します。この機能は、複数の基板の最適な取り扱いと効率的な生産を促進し、破損や汚染を最小限に抑えます。このアセットには、ウェーハを蒸着源に正確かつ正確に配置できる高精度ウェーハ方向モデルが装備されています。これは、誤った向きや位置合わせによる物理的な損傷を回避するのに役立ちます。さらに、タッチパネルのユーザーインターフェイスを備えた内蔵のパソコンも備えており、簡単でユーザーフレンドリーな体験を提供します。外部コンピュータユニットとの統合も可能で、遠隔操作や監視が可能です。キヤノンEVC-1701機は高精度なだけでなく、省エネ性にも優れています。このツールには、成膜面積を制限し、迷惑なプラズマが作業領域に入るのを防ぐ可動シャッターなど、いくつかの省エネ機能が装備されています。これは、エネルギーを節約し、資産の蓄熱を削減するのに役立ちます。全体として、ANELVA EVC-1701は半導体デバイスの製造のための基板上のスパッタ材料のための非常に信頼性の高いソースです。高効率、高精度で、多種多様な素材に対応できます。数多くの自動化された機能と省エネ設計により、半導体生産ニーズの費用対効果の高いソリューションをお探しのお客様に最適です。