中古 CANON / ANELVA EVC-1701 #9107302 を販売中

キヤノン/ANELVA EVC-1701は、成膜、フィルムコーティング、エッチング用途向けに設計された高性能マイクロスパッタリング装置です。このシステムは、新興の真空コーティングのニーズに効率的で費用対効果の高い選択肢です。このユニットは、プラズマ均一性のためのモーター式の傾き調整を備えた単一の陰極ワークチャンバーを使用しています。チャンバーは、低振動特性のアルミニウムおよびステンレス鋼から構成され、内蔵の真空ポンプが装備されています。多目的なシャッターコントローラーおよび手動で調節可能なエアロックのドアは含まれています。陽極は高周波発電機によって動力を与えられ、電力密度、脈拍幅および頻度を制御するのに使用することができます。これにより、コーティングプロセスを正確に制御できます。このマシンは、最大1キロアンプの電流で0〜1,500ボルトの調整可能な出力電圧を持つDC電源を使用しています。CANON EVC-1701ツールには3段式スパッタリングガンが装備されています。この銃は水冷資産、調節可能なパワーレベルおよび円、ライン、正方形および三角形のようなさまざまな沈殿の形を含んでいます。水冷モデルは基質への熱損傷を減らし、一貫したスパッタリング率を保障します。この装置は、金属、ガラス、プラスチック、セラミックスなど、さまざまな基板に使用できます。不規則な形状と非長方形の基板上に均一なフィルムコーティングを生成するように設計されています。その他の機能には、堆積面積を制御するためのフロントウィンドウオプションがあります。窓は耐食石英製で、最大1,000°C （1832°F）の温度に耐えることができます。ANELVAのEVC-1701システムにコンパクトな設計があり、最低の設置スペースを要求し、あらゆる生産ラインに容易に統合することができます。ユーザーフレンドリーな操作パネルとデジタルディスプレイにより、スパッタリングユニットEVC-1701多数のアプリケーションに理想的なソリューションを提供します。