中古 CANON / ANELVA EVC-1701 #293820426 を販売中

キヤノン/ANELVA EVC-1701は、最先端の材料加工用スパッタ装置です。各種デバイス用途向け材料の薄膜成膜を高効率運用するために設計されたハイエンドシステムです。このユニットは、最大動作圧力10-3 Torrまでの材料を処理することができ、貴金属、セラミックス、酸化物、合金、誘電体、金属、および非金属などのさまざまな原料を利用することができます。また、圧力、電力、基板速度、基板バイアス電圧、チャンバー温度、ガス流量などのスパッタリングプロセス条件を変化させ、最適な性能を得ることができます。これにより、精密な厚さと望ましい特性の高品質の薄膜を得ることができます。このマシンは、グラフィカルなメニュー駆動のメニューツールに基づいたユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。真空チャンバーには、特別なダイオードポンプ吸収モニターが装備されており、スパッタリングプロセスを動的かつリアルタイムに監視できます。これは、順番に、プロセスの所望のパラメータを維持するのに役立ちます、堆積物の均一な品質を確保します。このアセットは高度な制御機能も備えており、ユーザーは特定のアプリケーション要件に応じてモデルの動作パラメータを調整することができます。例えば、スパッタリング中に特定のカバレッジ領域を得るために、ノズルを基板表面から指定した距離に自動的にシフトするように設定することができます。さらに、ソフトウェアはクローズドループのフィードバック制御を提供し、スパッタリングプロセス中に常に一貫した結果を保証します。キヤノンEVC-1701システムは、様々な先端材料加工用途の薄膜成膜に最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより操作が簡単になり、事前制御機能により、ユーザーはアプリケーション要件に最も適した動作パラメータを調整できます。特別なダイオードポンプ吸収モニターは、スパッタリングプロセスの動的なリアルタイム監視を提供し、最高品質の結果を保証します。