中古 CANON / ANELVA EVC-1501 #9048865 を販売中

キヤノン/ANELVA EVC-1501は、精密金属または誘電体薄膜の蒸着が可能な高度で高精度なスパッタリング装置です。電子、オプトエレクトロニクス、MEMSアプリケーションに採用されているサブミクロン層の厚さ精度により、成膜速度や品質の向上などの高度な機能を利用しています。このスパッタリングシステムは、電子ビームガンを使用して質量中和と電子磁気環境制御（EMEC）ユニットを使用し、サブミクロン層の厚さの整合性を可能にします。蒸着速度は高く、定常動作圧力は0。1mBar〜1mBar、最大目標電流は150mAです。さらに、絶縁電圧は0〜150Vまで調整可能で、必要に応じてコーティングの厚さと均一性を調整できます。さらに、蒸着は、最大15単位の室温動作を備えた反応または非反応大気で行うことができます。また、高性能の高真空ターボ分子ポンプを搭載しており、操作室への迅速で効率的な避難率を提供します。さらに、このツールは高度なパーティクルモニターとポンプダウンモニターを備えており、避難プロセスを高度に制御できます。これは、正確で信頼性の高い堆積プロセスに役立ちます。CANON EVC-1501は高出力パルスジェネレータも搭載しており、高速パルススパッタリングを実現しています。さらに、酸化窒化物薄膜の成膜、粒度制御、誘電特性制御など、さまざまなパターン制御機能を使用できます。全体として、ANELVA EVC-1501スパッタリングアセットは、金属または誘電体薄膜の堆積用に設計された高度で正確なスパッタリングモデルです。サブミクロン層の厚さ精度の向上、絶縁電圧の調整、効率的な避難のための高品質の真空ターボ分子ポンプなど、成膜速度と品質の向上のための多くの高度な機能を備えています。さらに、多くの特性を適用することができ、高層均一性と幅広い用途を可能にします。