中古 CANON / ANELVA EVC-1501 #293816779 を販売中

CANON/ANELVA EVC-1501は小型で人間工学に基づいた小型設計で設計されたスタンドアロンの3チャンバースパッタリング装置です。このシステムは、薄膜やその他の特殊コーティングを、フラット基板、カーブ基板、円柱基板、その他の形状基板に効率的で効率的かつ経済的に成膜するために設計されています。CANON EVC-1501には、プロセス/ロードリフターチャンバー、基板搬送チャンバー、真空チャンバーの3つのチャンバーがあります。プロセス/ロードリフターチャンバーは、断熱されたダブルウォールプロセスリフターとエアリフトテーブルで構成されています。プロセスリフターは基板を上げ下げし、基板の積み下ろしに使用されます。基板搬送チャンバーは、複数の基板をチャンバ間で搬送することができます。真空チャンバーは、必要なスパッタリング圧力を維持するために真空を発揮します。ANELVA EVC-1501には様々なスパッタリング源があります。空気圧式スパッタリングガンは、高い均一性を持つ大面積または小面積のスパッタリングを可能にします。また、高アスペクト比の部品や複雑な構造のスパッタリングには、磁気スパッタリングガンと電子ビームガンを使用しています。このユニットはまた、より大きな形状と均一性のために回転スパッタリングガンを使用しています。EVC-1501はカスタマイズし、容易なリコールのために貯えることができる多機能の制御機械を特色にします。このツールはProgram Teacher Assetを使用して複雑な堆積プロセスを簡素化します。このユニットには自動圧力制御モデル（APCS）もあり、スパッタリング圧力を継続的に監視して均一なプロセスを維持します。CANON/ANELVA EVC-1501は、金属、酸化物、窒化物、複合物のスパッタリングなど、さまざまなプロセスを可能にします。この装置は、ガラス、プラスチック、金属、セラミックス、半導体などの複数の基板をスパッタするだけでなく、データ保存、マイクロエレクトロニクス、ハードコーティング用の薄膜アプリケーションにも対応します。CANON EVC-1501には、パラメータ設定、レシピの作成と編集、プロセス監視と制御、エアチャネル分離などの機能が統合されたユーザーフレンドリーなインターフェースがあります。電気安全連結、プロセスふたおよび排気口のような安全特徴で造られるすべてはオペレータの安全を保障します。耐久性のある構造により、ANELVA EVC-1501は、効率的で信頼性の高い薄膜コーティングと迅速な納期を保証する信頼性の高い効率的なスパッタリングシステムです。このユニットは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスで柔軟性と利便性を提供し、カスタマイズされた一貫した堆積プロセスを可能にします。