中古 CANON / ANELVA E-800S #293830303 を販売中

キヤノン/ANELVA E-800Sスパッタリング装置は、さまざまな生産および研究用途に使用するために設計された最先端の薄膜成膜ツールです。このシステムは、最大8つのロードロックを備えた自動化された密閉されたチャンバ設計を使用して、素早い基板ローディングを実現します。このユニットは、イオンアシストスパッタリング、高密度マグネトロンスパッタリング、反応スパッタリング、パルスDCスパッタリングなど、利用可能な最先端のスパッタリング技術を使用することができます。キヤノンE-800Sは、24チャンネル抵抗源と18チャンネル高密度マグネトロン源の2つの主要なスパッタリングシステムを備えています。どちらのソースも、目的の成膜に応じて異なるターゲット材料を装備することができ、さらに複雑なフィルムアーキテクチャに組み合わせて使用することができます。ダブルおよびトリプルイオンアシストスパッタリングもANELVA E-800Sに搭載されており、2〜3個のイオン源を同時に利用してインピングイオンのエネルギーを高め、基板充電を削減し、沈着均一性を高めます。この機能により、ダイヤモンドやシリカベースの材料など、基板の堆積が困難な材料も含め、ほぼすべての材料を最高品質で堆積させることができます。また、ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング（High Power Impulse Magnetron Sputtering）モードE-800S搭載しており、同じ高品質の薄膜を維持しながら、蒸着速度を2倍にします。この機械の他の選択は手で積載可能な源およびアルゴン、水素または窒素のガスが容量的に結合したプラズマ源を含んでいる。これらの代替成膜技術は、低い接着性と優れた均一性で高い成膜速度を提供することができます。CANON/ANELVA E-800Sには、直感的なタッチスクリーンインターフェイスや、包括的なプロセスとツールのパフォーマンス監視のためのリアルタイムデータ取得など、高度なコンピュータツールが装備されています。このアセットには、自動プロセス制御とチャンバーパラメータの自動キャリブレーションも備えています。オープンでユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、レシピの保存、処理、生成が簡単になります。追加された安全機能として、モデルにはオプションのインターロックスイッチが含まれており、チャンバーを開くとソースが偶発的に起動するのを防ぎます。全体として、キヤノンE-800Sは、極めて均一で信頼性の高い薄膜成膜を可能にする高度なスパッタリング装置です。さまざまな自動化機能と複数のソースを組み合わせたこのシステムは、最も困難な堆積要件に使用できます。ANELVA E-800Sは、研究や工業生産のための信頼性の高い効率的なツールです。