中古 CANON / ANELVA E-402S #9188024 を販売中

キヤノン/ANELVA E-402Sは、様々な基板上に薄膜を堆積させるための先進的なスパッタリング装置です。高性能な電子機器の製造に適した高度な機能と堅牢な性能を提供します。キヤノンE-402Sは、4枚の平面マグネトロンスパッタリングヘッドを使用し、均一な成膜を実現しています。また、ハンドリングと精度を容易にするための自動スパッタ高さ調整器を備えています。このシステムには、シャープなスパッタリング速度とプロファイル制御を備えた精密なフィルム制御用のデュアル電圧パルス電源も装備されています。ANELVA E-402Sは、ステンレス製の高真空チャンバーを備えています。また、電源、独立したタービン真空ユニット、および全安全制御のための真空インターロックマシンを備えています。超音波洗浄のためのオプションの範囲と優れた温度制御のための25段の基板ヒーターを提供しています。このツールは、温度モニタリング、RF/DC小型スパッタリング、たわみ補正、高速プロセス、および10⁻⁴ mbarの超高真空（UHV）で最大380°Cの最大典型的なプロセス温度を備えています。また、徹底的なチャンバークリーニングのための高度なろ過モデルを備えた自動チャンバークリーンアセットを備えています。E-402Sは信頼でき、堅牢な装置です。優れた電子部品の製造に適した多くの機能を備えています。幅広いパラメータを正確に監視することができ、高性能コンポーネントの製造に不可欠なさまざまなプロセス機能を提供します。