中古 CANON / ANELVA C-7540HCL #9031243 を販売中

ID: 9031243
ヴィンテージ: 2000
Sputtering system Substrate size: 10.5 x 10.5 mm Taget: 630 x 200 Turbo pump 2000 vintage.
CANON/ANELVA C-7540HCLは、半導体、金属部品、ポリマーフィルム、ウェーハなど、さまざまな材料の表面に金属や誘電体の層を堆積させるために設計されたスパッタリング装置です。このシステムは、マグネトロンスパッタリングと呼ばれるプロセスを利用し、350°Cまでの極めて高温で材料を堆積することができます。また、高周波多軸機を搭載し、多周波デュアルソース電源を使用して、より高い均一性と蒸着率を実現しています。CANON C-7540HCLの高度な機能により、精密部品や部品の製造、薄膜の層の作成に最適です。このツールは、スパッタリング源、高速多軸加工チャンバ、補助材料処理アセット、および制御モデルで構成されています。スパッタリング源は、真空生成された金属層または誘電層を円筒ターゲットを使用して基板に堆積させることによって機能します。高速多軸加工チャンバは、材料の堆積を可能にするために基板とターゲットを加熱します。補助的な物質的な処理装置はシステムへの基質材料のローディングそして荷を下すことを容易にします。最後に、制御ユニットは堆積プロセスを正確に制御することができます。ANELVA C-7540HCLは、均一性の高い精密な薄膜層を生成することができます。また、様々な金属や合金を堆積させることができ、精度と速度で微細なライン、溝、パターンを作成することができます。さらに、緊急停止スイッチやクーラント圧力監視ツールなど、いくつかの安全メカニズムが装備されています。C-7540HCLは、高品質で精密な薄膜層を製造できる信頼性の高い資産です。高度なプロセスと高性能なコンポーネントを使用して、蒸着プロセスの品質と効率を保証します。このモデルの優れた機能と安全メカニズムにより、多くの産業での製造アプリケーションに適しています。
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