中古 CANON / ANELVA C-7150C #9107305 を販売中

キヤノン/ANELVA C-7150Cは、薄膜成膜プロセス用に設計されたスパッタリング装置です。パルスDCマグネトロンスパッタリングシステムであり、研究開発室や製造業での使用に適したコンパクトな設計を特徴としています。フルレンジのスパッタリング圧力制御を備え、迅速かつ効率的なプロセス最適化を可能にします。キヤノンC-7150Cは170x170x500mmのチャンバーボディサイズで、ボートやピンタイプのホルダーで最大14個のサンプルを収容できます。それは4つの複数のマグネトロン、1つの回転可能な、2つの固定および1つのバイアスが装備されています。回転可能なマグネトロンヘッドには、調節可能な電極ユニットが含まれており、チャンバー内のターゲット最適化を可能にし、均一なフィルム蒸着を保証します。基板ホルダーは、内蔵のファインコントロールヒーターで熱調整され、生産されたフィルムの優れた均一性と再現性を可能にします。ANELVA C-7150Cのコントロールユニットには、分かりやすいユーザーインターフェースが装備されており、スパッタリングプロセスの簡単な構成と監視が可能です。その他の特長としては、高速チャンバー避難用の高速真空ポンプ、アークの影響を受けやすい材料用のアーク低減ガス流量規制、さらにプロセス制御および監視用のオプションのソフトウェアパッケージを備えたオンボードアナライザなどがあります。この機械はプロセス温度が低いため、熱感受性材料の損傷を防ぎ、汚染率が低くなります。さらに、広い周波数範囲と調整可能な電源により、保護および装飾的なコーティング用途の両方に使用される低密度および高密度材料に使用することができます。全体として、C-7150Cは、正確な出力、均一性、安定性を利用して均一な薄膜コーティングを実現する、信頼性の高いスパッタリング成膜プロセスのための包括的な機能セットを提供します。航空宇宙、自動車、オプトエレクトロニクス、医療、食品加工など、高品質のコーティングが必要な業界に最適です。