中古 CANON / ANELVA C-7100GT #9293803 を販売中

キヤノン/ANELVA C-7100GTスパッタリング装置は、複数のスパッタリング用途に使用できる高度な生産ツールです。金属や誘電膜を様々な基板に堆積させるために設計された、高性能で経済的なスパッタリングシステムです。キヤノンC-7100GTには電子サイクロトロン共鳴源（ECR）が搭載されており、標準スパッタリングよりも高速な蒸着が可能であり、フィルムの均一性と高い蒸着率が向上しています。ANELVA C-7100GTは、1つの真空チャンバー内に配置された4つのスパッタリングソースチャンバーからなる4チャンバーユニットです。各スパッタリングソースチャンバーは、均質なフィルムでコーティングする必要のある表面に対して、非常に均一なターゲット材料層を生成するように設計されています。また、最大200mmの大型基板にも対応できる広いターゲット領域を有しています。スパッタリング工程での微調整を可能にする高精度のX-Yモーションマシンと、安定したプロセス環境の管理と維持に役立つ自動環境制御ツールを内蔵しています。C-7100GTは、アルゴン、クリプトン、キセノンなど様々なスパッタリングガスを利用して、多種多様な真空蒸着膜を生成することができます。高周波ECRジェネレータを使用して低温で高い蒸着速度を維持し、コーティングの均一性を向上させます。また、温度制御範囲が大きいため、非常に薄い成膜や特殊コーティングなどの特殊用途に最適なキヤノン/ANELVA C-7100GTです。また、フェイルセーフシャットダウンモデル、オンボードデータロギング装置、動作温度および圧力制御システムなど、多くの安全機能も備えています。全体的に、キヤノンC-7100GTスパッタリングユニットは、スパッタリングアプリケーションのための信頼性と高効率のツールです。ECR源、高い蒸着率、大きなターゲット領域、広い温度範囲を備えたこのマシンは、製品表面および部品の金属および誘電膜の製造に最適です。それは長期、大量の生産および専門のコーティングの適用の両方のために完全である経済的な選択です。