中古 CANON / ANELVA C-7100GT #9281807 を販売中
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販売された
ID: 9281807
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
PVD System, 12"
(3) Chambers:
Chamber 1: TiN
Chamber 2: TiN
Chamber 3: SiO2 ETCH (A-CH)
Pre-clean chamber
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / - / D-Chamber
(4) / 99009-58901 / DC5KW Plasma generators Dual, QIP
(4) / 1055-08698 / Stages, RF 2PVD
(8) / 1055-17508 / Sheet, carbon stages
(4) / 1038-05492 / Quartz rings, PY362
(1) / - / D-Chamber rack
(1) / - / Cable
(4) / 1042-17090 / 25V 250W Heaters
(1) / 9007-58377 / Termo couple, RD310
(3) / 0111-90397 / Multi navi
(3) / N50023210 / Ion gauge controllers
(9) / N12004545 / Lamp heater powers
(3) / 9006-86546 / RF Power supplies 2KW (AX-20003A)
(1) / 9001-14094 / LL / Slit valve
(3) / 9001-13959 / PVD Slit valves
(4) / N20208864 / Z, Sensor controllers
(12) / 1042-17090 / 25V 250W heaters
(3) / 9007-58377 / Thermo couples, RD310
(3) / N50023131 / Stabil-ion gauges
(3) / N50025919 / Baratron gauges
(5) / - / Brakets
(20) / 1063-41277 / PLCs
(20) / 1071-76104 / PLCs
(20) / 1072-27727 / PLCs
(4) / 9007-60358 / Thermo couple controllers
(1) / 9007-61508 / CCD
(4) / 9007-58822 / CCD Cameras
(4) / N20208711 / Z, Sensor
(1) / 9014-41321 / TR Robot EE
(1) / 9009-87803 / EFEM Robot EE
(9) / - / Destrubting sheets
(1) / 1042-08203 / Lamp heater assy, connect
(1) / 1037-34502 / Heater base
(3) / 1042-17090 / 250W 25V Heaters, (2) assys
(1) / 1042-17171 / Cable, heater assy
(1) / 1023-20960 / Shutter shaft cover
(1) / 1037-27377 / Stage, RF (2) PVD
(8) / 1055-08698 / Springs, hold stage
(1) / 1055-17427 / Quartz ring, PY362
(3) / 1038-05492 / Quartz RPIN, L15xD5
(2) / 1046-92614 / Bolt, location al203
(3) / 1057-53934 / Stopper pins
(16) / 1035-18922 / H3 x 8, AG
(20) / N31000015 / S SUS304 WA x 3 Flat washers
(2) / TMF-403M / RF 2PVD
(10) / - / Shield adaptors
(10) / - / HE Elbows
(2) / - / Power cables
(4) / - / LID Lamp heaters
(1) / - / Maintenance USB port
(3) / - / PLC Racks
(1) / - / Heater connection box
(1) / - / SMKE Sensor
(1) / - / EMO
2011 vintage.
キヤノン/ANELVA C-7100GTスパッタリング装置は、さまざまなサイズの基板にコンフォーマル薄膜を堆積させるために使用できる汎用性と高効率のスパッタリングシステムです。抵抗ビームと電子ビームの両方のプロセス、ならびに複数のフィルムタイプ、厚さ、および組成物をスパッタすることができます。キヤノンC-7100GTは、2つの反応性（マグネトロン）と1つの直流（DC）スパッタリングチャンバーを備えたコンパクトな2段ユニットで構成されています。ANELVA C-7100GTは、より高い発電プロセスのために設計されており、一度に2つのフィルムを堆積させることができ、金属や誘電体の交互層、複雑なオーバーレイや高アスペクト比の構造などのフィルムのその場での堆積を可能にします。C-7100GTは、すべてのプロセスパラメータを正確に制御するために、完全にプログラム可能なDC電源とソリッドステートリレーを装備しています。このマシンには、マグネトロンスパッタリングアプリケーション用のオプションのRF電源も装備できます。スパッタリングステーションに加えて、CANON/ANELVA C-7100GTには、スパッタリングチャンバーから基板をロード/アンロードするためのマルチチャンバー基板転送ツール（MCT）も含まれています。MCTは、基板をタイムリーに交換しやすくすると同時に、チャンバーの便利な基板移動と加熱を可能にします。CANON C-7100GTには、より精密なターゲット、高い沈着率、コーティングの均一性を高めるための高容量ターボ源もあります。安全性に関しては、ANELVA C-7100GTには真空インターロック資産があり、チャンバが適切に避難していない間に処理チャンバが開くのを防ぎます。これにより、密閉されたチャンバーとともに、運転中に危険なガス露出リスクがないことを保証します。C-7100GTにまた装置およびオペレータ両方を保護する統合された緊急停止ボタンおよび熱監視モデルがあります。結論として、CANON/ANELVA C-7100GTスパッタリング装置は、コンフォーマル薄膜や複雑なオーバーレイヤを基板に堆積させるのに理想的な効率的で汎用性の高いスパッタリングシステムです。これは、2つの反応性と1つのDCスパッタリングチャンバーだけでなく、多室基板転送ユニットと高容量ターボソースを備えており、正確なターゲット制御と高い蒸着速度を実現しています。また、真空インターロックツール、密閉チャンバー、非常停止ボタンなど、さまざまな安全機能が搭載されています。
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