中古 CANON / ANELVA C-7100 #9154703 を販売中
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キヤノン/ANELVA C-7100は、高品質の薄膜蒸着機能で知られるハイエンドの物理蒸着装置です。このシステムは、広範囲のアプリケーションに適した多くの機能を備えたデュアル陰極マグネトロンスパッタリングを利用しています。キヤノンC7100の本体にはチャンバーが内蔵されており、様々な部品が内蔵されています。このチャンバーは窒素ガスを密閉しているため、反応副生成物の効率的な抽出により、迅速な蒸着プロセスを可能にします。イオン化ゲージは、ワークの周りにイオンの球を保持し、高い表面純度を確保します。また、約1x10^-5 Torr以上の圧力にチャンバーを避難させることができるターボ分子ポンプを備えています。このユニットは、様々な物質を簡単に処理できるように設計されています。その標準的な構成は純粋な金属、合金および混合物、陶磁器の材料および有機性材料を沈殿させるために提供します。さらに、その引き込み式プラットフォームは、プロセスの高解像度のトップビュー観察を可能にします。アノードとカソードパラメータを個別に調整できるように、多彩な設定も可能です。ANELVA C 7100には、ワーク上の成膜を制御するための工程が組み込まれており、オン/オフコマンドなどのリモートコントロール機能、およびサイクルスタートコントロールが備わっています。それはまた部屋の一定したプロセスの維持のために重大である温度調整を可能にする冷却および暖房機能を含んでいます。さらに、成膜プロセスを基板の種類、成膜モード、プロセス温度に応じて微調整することができます。全体的に、ANELVA C-7100機は、さまざまな物質の薄膜蒸着に適した高度で信頼性の高いスパッタリングツールです。その比類のない品質と精密な成膜、ならびに様々なパラメータの効率的な処理は、これを業界で非常に求められ、信頼性の高いツールにします。
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