中古 CANON / ANELVA C-7010 #9379072 を販売中

キヤノン/ANELVA C-7010は、薄膜製造用に設計されたハイエンドスパッタ装置です。このシステムは、陰極アーク蒸発とマグネトロンスパッタリング技術を使用して、セラミックス、金属、半導体などの基板にコーティングを堆積させます。CANON C-7010は、特定の材料を様々な厚さの基板に均一に適用することができ、蒸発プロセスの重要なパラメータの多くは調整可能です。このユニットは、標準的なTurbocuspision Cathodic Arc Sourceを使用しており、鋭いバイアスと非常に高い沈着率を提供することができます。蒸着プロセス中の均一性の向上とアーク発生の低減のために、高度なプレスパッタリングマシンが付属しています。基板加熱源はセラミック赤外線ラジエーターで、500°Cまで加熱することができ、高温蒸着や急速な熱アニーリングなどのプロセスを可能にします。このツールで利用可能な追加機能には、基板のサイズと厚さの違いを補う自動機能であるAuto Film Thickness Monitorと、基板の両側にフィルムを堆積するための裏面スパッタリング源が含まれます。このアセットは、複雑な基板形状やサイズを可能にするための基板操作も可能です。ANELVA C-7010には高度な制御ソフトウェアパッケージも含まれており、ジョブのセットアップ、運用監視、データロギングのためのユーザーPLCおよびSCADAレベルの機能を提供します。付属のタイトループチャンバー制御ソフトウェアは、モデルを摩耗から保護し、フィルム蒸着プロセスが効果的で再現性があることを保証します。最後に、C-7010には非常停止などの安全機能や、効率的な空気浄化のための緊急排気装置も含まれています。このシステムは、高度なクリーンルーム規格の認定を受けており、既存のクリーンルームのプロトコルとの互換性について定期的にテストされています。