中古 CANON / ANELVA 8 PVD-EX chamber for C-7100 #293745740 を販売中

CANON / ANELVA 8 PVD-EX chamber for C-7100
ID: 293745740
ウェーハサイズ: 8"
8".
CANON/ANELVA 8 PVD-EXチャンバーfor C-7100は、さまざまな業界の高度な薄膜成膜要件を満たすように設計された最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、精密工学と革新的な技術を組み合わせ、薄膜コーティング用途で優れた性能を提供します。このチャンバーには、多彩な機能と機能が搭載されているため、成膜プロセスのための汎用性と信頼性の高いツールとなります。CANON 8 PVD-EXチャンバは、高いスループットと蒸着率の性能で知られるC-7100スパッタリングユニットに特化して設計されています。このチャンバーはC-7100プラットフォームとシームレスに統合され、薄膜蒸着ニーズに対応する完全なソリューションをユーザーに提供します。この機械は、金属、酸化物、窒化物を含む幅広い材料を堆積させ、正確な厚さと均一性を持つ薄膜を作成することができます。ANELVA 8 PVD-EXチャンバーの主な特徴の1つは、蒸着プロセスを正確に制御できる高度な真空技術です。このチャンバーには、超高真空レベルを達成できる高性能ポンピングツールが装備されており、クリーンで安定した蒸着環境を確保しています。この真空アセットは、蒸着チャンバ内の不純物や汚染物質を最小限に抑え、優れた接着性と均一性を備えた高品質の薄膜を実現します。CANON/ANELVA 8 PVD-EXチャンバーは、複数の材料を同時に蒸着できるマルチターゲットカルーセルモデルを備えています。このカルーセル装置は最大8つのターゲットに対応でき、ユーザーは異なる層と組成の複雑な薄膜構造を堆積することができます。カルーセルシステムは完全に自動化されており、蒸着プロセス中に異なるターゲットを切り替えるように簡単にプログラムすることができ、材料蒸着の柔軟性と効率を提供します。CANON 8 PVD-EXチャンバーには、マルチターゲット機能に加えて、DCマグネトロンスパッタリング、RFスパッタリング、リアクティブスパッタリングなど、さまざまな高度な蒸着技術が搭載されています。これらの技術により、導電性、光透明性、機械的強度など、さまざまな特性を持つ薄膜を堆積させることができます。このチャンバーには、その場でのプロセス監視および制御システムも装備されており、蒸着プロセスに対するリアルタイムのフィードバックを可能にし、一貫したフィルム品質を確保します。ANELVA 8 PVD-EXチャンバは、操作とデータ分析を簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェイスとソフトウェア制御で設計されています。このユニットには、ターゲット電力、ガス流量、蒸着時間などの蒸着パラメータを直感的に制御できるタッチスクリーンインターフェイスが装備されています。ユーザーは、異なる材料やプロセスの沈着レシピを簡単にプログラムして保存することができ、効率的な操作と再現性の高い結果を得ることができます。CANON 8 PVD-EXチャンバーfor C-7100は、幅広い薄膜成膜用途に適した汎用性と高性能スパッタリング機です。高度な真空技術、マルチターゲット機能、高度な蒸着技術により、特性と性能を正確に制御する薄膜を作成することができます。CANON/ANELVA 8 PVD-EXチャンバーは、研究開発や大規模生産においても、さまざまな用途で高品質の薄膜を実現する信頼性の高いツールです。
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