中古 CANON / ANELVA 7100 GT #9398911 を販売中

CANON / ANELVA 7100 GT
ID: 9398911
Sputtering system.
キヤノン/ANELVA 7100 GTは、薄膜を様々な基板に素早く効率よく堆積させるために設計されたスパッタ装置です。これは、最大4つのターゲットにアクセスし、直径8インチまでの基板を処理することができるマルチターゲットプラットフォームを利用しています。このシステムは、スコッチテープマスキングとシャドウエフェクトマスキングを介して大面積の基板を処理することもできます。CANON 7100 GTの主な部品は、電子チャンバー、真空チャンバー、プロセスコントローラ、アジテーショナルパック、排気チャンバーです。電子チャンバーは、スパッタリングに必要な高電圧を制御する責任があります。真空チャンバーは、スパッタリングが行われる領域であり、ターゲットと基板も含まれています。さらに、真空チャンバーにはコールドカソードとスイッチマグネットが装備されており、均一な蒸着が保証されています。プロセスコントローラはスパッタプロセスの制御データを提供し、ユニットの適切な機能を監視します。攪拌パックは、攪拌、ポジショニング、カセットローディングを支援します。最後に、排気室はスパッタリングのガスの副産物をろ過します。ANELVA 7100 GTは、アルミニウム、クロム、金、チタンなどの材料、およびこれらの要素から成る合金を堆積することができます。これらの材料の蒸着速度は、動作電力を調整することにより、所望の効果に合わせて変更することができます。さらに、スパッタリングプロセス温度は、室温から350-400°Cの間の任意の場所に設定して、蒸着品質を最適化することができます。7100 GTは、さまざまなユーザーのニーズに対応するためのさまざまな操作モードも提供しています。これらはユーザーが全体のスパッタリングプロセスを容易に制御することを可能にする手動モードです;プログラムモード、プロセス全体を自動化し、大面積フィルムに最適です。そして小さい区域のフィルムおよび基質の位置にとって理想的である半自動モード。さらに、マシンは、リモートモニタリングとパラメータの制御のためのコンピュータにリンクすることもできます。全体的に、キヤノン/ANELVA 7100 GTは、さまざまな基板上に薄膜を堆積させるための高度なスパッタリングツールです。そのマルチターゲットプラットフォーム、可変電力および温度設定、動作モード、コンピュータリンク、排気チャンバーは、研究および産業用途の両方に最適です。
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