中古 CANON / ANELVA 1060 #9155414 を販売中

キヤノン/ANELVA 1060は薄膜成膜用スパッタ装置です。キヤノン1060は、リアクティブスパッタリングが可能なインパルススパッタリングシステムで、直径8インチまでの大小の基板に対応できます。ANELVA 1060は、従来の電力と同様に磁気で動作することができ、高い再現性を備え、幅広いエネルギーレベルで安定したエッチングとフィルム成膜を提供します。1060は信頼性が高く効率的なDC電源を使用しており、電源や基板サイズに関係なく一定の電圧を維持できます。つまり、CANON/ANELVA 1060は、望ましい堆積条件に合わせて簡単に調整できます。キヤノン1060には圧力計測装置とガス流量制御装置を搭載しており、正確な圧力とガス流入を可能にしています。これにより、フィルム密度、均一性、堆積層間のギャップなどのスパッタリングパラメータを正確に制御できます。また、ANELVA 1060には独自のプラズマ閉じ込めツールが搭載されています。磁石を用いて真空チャンバー内に磁場を作り、プラズマを制御し、均一なイオン密度を提供します。さらに、1060は、低圧、高圧、モノ/多周波スパッタリングなど、さまざまな動作モードが可能です。これにより、堆積プロセスの柔軟性が可能になり、さまざまな業界で幅広い用途に対応できます。CANON/ANELVA 1060には、チャンバーの周囲温度を監視し、不要な放出をテストすることができる環境センサーも装備されています。また、キヤノン1060は、室内の安全な環境を監視・維持することで、清潔で安全な運転を実現するよう設計されています。全体として、ANELVA 1060は高度で信頼性の高いスパッタリングモデルであり、幅広い基板にわたって一貫した均一な蒸着を提供します。様々な動作モードを出力できるため、幅広い用途に対応できますが、環境モニタリング装置は1060を安全で安全な環境で動作させることができます。