中古 CANON / ANELVA 1060 #9155413 を販売中

キヤノン/ANELVA 1060は、研究用に設計された高性能スパッタリング装置です。AAM （Abrupt Angle Magnetron Sputtering）システムは、研究者が希望する材料の超薄膜を正確かつ再現性のある基板に堆積させることを可能にします。このユニットは、ソース、ターゲット、基板、および制御モジュールからなる完全に閉じたLTスパッタチャンバーを使用しており、さまざまなチャンバーサイズと形状の材料の体積成膜が可能です。また、磁気または平面のいずれかの構成でスパッタして、目的の堆積プロファイルを取得することもできます。ACプラズマソースのABRUPTタイプを搭載し、異なる材料を素早く簡単に切り替えることができます。この磁気プラズマ源と平面形状の組み合わせにより、材料が基板上に均一かつ一貫した方法で堆積することができます。CANON 1060独自の設計により、成膜プロセスの制御性も向上しています。統合された2チャネル電源でカソード電位を正確に制御することが可能であり、異なる条件下で正確な量の材料をスパッタすることができます。このツールには、堆積膜の均一性を向上させるように設計された調整可能なRF電源もあります。さらに、アセットには、スパッタフィルムの均一性を向上させ、大気中の粒子汚染を除去するように設計されたアクティブフィルターが装備されています。全体的に、ANELVA 1060は、望ましい特性と均一性を備えた薄膜の製造が可能な高度なスパッタリングモデルです。産業から科学まで、さまざまな研究用途向けに設計されており、信頼性と信頼性の高いスパッタリング装置をお探しの方に最適です。その革新的な設計により、蒸着プロセスを正確に制御し、一貫した高品質のフィルムを保証します。1060は研究または生産の必要性のための最先端のスパッタリングシステムを捜すだれでものための理想的な選択です。