中古 CANON / ANELVA 1060 SV2+1 #9210357 を販売中

キヤノン1060 SV2+1は、市場で最も先進的なスパッタリングシステムの1つです。これは、超高レートフィルムの成長と蒸着プロセスのために設計されています。2つの陰極と1つの昇降デカムるつぼを利用したマルチソーススパッタリング装置です。2つの陰極は磁気（MP）または平面（PP）のタイプである場合もあります。デカムるつぼを上げることで、異なる素材の基板の両面を1サイクルでコーティングすることができます。1060 SV2+1は、ディスプレイ、半導体、太陽光発電（PV）、オプトエレクトロニクス産業など、幅広い用途に対応しています。多層フィルムスタックの複雑なパターンをスパッタリングすることができ、厚さ、組成、層プロファイルを正確に制御することができます。このユニットは窒化物フィルムの堆積にも特に適しています。1060 SV2+1は、高度なin-situモニタリングおよび制御システムを使用して、沈着プロセス全体にわたって基板の品質と完全性を維持します。これは、圧力、温度、電力、電圧、電流などのさまざまな基板パラメータを監視および制御するために、統合されたクローズドループ機械を採用しています。このツールはまた、基板の高解像度画像をキャプチャし、均一性と再現性を確保するために迅速かつ正確なプロセス調整を可能にする高度なビジョンアセットを備えています。このモデルには自動ロードロックが組み込まれており、基板交換とプロセス工程の間の作業室の汚染を低減します。手動での介入とステップのパージを回避することで、ロードロックから蒸着チャンバへのクリーンで高速な転送を保証します。1060 SV2+1は、オプションの低温プリスパッタリングプロセスも提供します。このプロセスは、エッチング後の洗浄、高解像度パターニング、および低温処理を必要とするその他のステップに使用できます。全体として、ANELVA 1060 SV2+1は、精密な制御、幅広い用途、および現場監視および制御システムにより、多くの業界で広く使用されている高性能スパッタ装置です。多種多様な材料や基板サイズに対応し、高速で効率的で信頼性の高い加工を提供します。このシステムは優れた結果を提供することができ、どのような沈着プロセスにも強く推奨されます。