中古 CANON / ANELVA 1051 #9389730 を販売中

キヤノン/ANELVA 1051は、物理蒸着（PVD）用スパッタリング成膜装置です。高速磁気式エアーベアリングスピンドルを備えたシングルターゲットシステムで、広い領域や基板に高効率で均一なコーティングが可能です。このユニットには、10石英ターゲットホルダー、グラフィカルオペレーターインターフェースを備えた高度なPLC（プログラマブルロジックコントローラ）、自動プロセス制御システム、およびO2、 CO2、 Ar、および窒素を含むさまざまなガス制御構成が装備されています。CANON 1051は、最大400nm/minの高速スパッタ速度と2000 vまでの目標電圧を実現することができ、アルミニウム、ステンレス、チタンなどの基板に最適です。ターゲットを引き込み、材料とガスを素早く切り替えることで、特定の性能要件を達成することができます。機械は完全に自動化されており、経験豊富なオペレータは、再現可能で高精度なプロセスを達成することができます。ANELVA 1051は0-3000ワットからカスタマイズすることができる調節可能な電源および周波数範囲が装備されています。圧力、ガスフロー、冷却スピンドル温度などの追加のプロセスパラメータを使用して、さらなるカスタマイズが可能です。低真空の圧力監視、自動圧力遮断、温度制御、水冷などの安全機能により、プロセスはリスクなしで行われます。さらに、プロセス結果を一般的に監視するためのデジタル出力も提供されています。結論として、1051は信頼性が高く、正確で安全なスパッタリングツールであり、ユーザーは短納期で非常に効果的な結果を達成することができます。半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に広く使用されています。