中古 BALZERS / UNAXIS LLS 900 #9006623 を販売中

BALZERS/UNAXIS LLS 900スパッタリング装置は、半導体やその他の先進的なナノテクノロジー用途に使用するために設計された工業用グレードの真空スパッタリング機です。UNAXIS LLS 900は4つの4ターゲットのスパッタリング源が装備されているモジュラー、複数の部屋、複数の位置のスパッタリングシステムです。4つのチャンバーはそれぞれ独立して動作することができます。このユニットは、シーケンシャルスパッタリング、同時スパッタリング、ハイブリッドプロセスなど、さまざまな蒸着プロセスに適しています。BALZERS LLS 900のメインチャンバーは、高品質のステンレス鋼と高真空フィードスルーを使用して構築され、クリーンで一貫した長寿命の操作を保証します。その内部次元は18 "x 18" x 24 "（460mm x 460mm x 610mm）です。チャンバーの容積は約12立方フィート（340リットル）で、真空チャンバーの基圧は10-7 Torr （1。3e-6 Pa）です。主要な部屋の大きい作業区域は4つまでの付加的な外的な部屋によって増強されます、それぞれ4ターゲットのスパッタリング源を含んでいます。LLS 900には最新のスパッタリングマシン技術が搭載されています。クローズドループ制御システムを統合し、高信頼性の電源ツールを備え、精密なプロセス制御のための高度な計測技術を利用しています。4ターゲットスパッタリング源のそれぞれは、4つのマグネトロンまたはダイオードマグネトロンスパッタ源で構成され、優れた蒸着均一性を提供します。追加の利便性のために、ターゲットはマグネトロン/ダイオードスパッターヘッド内で自動または手動で変更することができます。BALZERS/UNAXIS LLS 900は、金属、セラミックス、合金、酸化物、窒化物などの幅広いプロセス材料とも互換性があります。アセットの汎用性と柔軟性により、半導体製造、薄膜デバイス製造、産業用コーティングなどの用途に適しています。このモデルは、最も要求の厳しい生産要件を満たすように設計されており、長期にわたって優れた性能と信頼性を提供するために延長保証で利用できます。