中古 BALZERS ST 801 #9200579 を販売中

製造業者
BALZERS
モデル
ST 801
ID: 9200579
ヴィンテージ: 1995
Metal sputtering system 1995 vintage.
BALZERS ST 801は、薄膜蒸着装置の有名メーカーであるBALZERSによって設計および製造されたパルスDCスパッタ装置です。ST 801システムは、幅広い用途で薄膜を効率的にスパッタするように設計されています。高レベルの制御と精度を提供し、基板上に様々な材料の最大8つのターゲットと2つの電子ビームガンをスパッタすることができます。また、リアルタイムのグラフィカルユーザーインターフェイスにより、プロセスパラメータを監視することができます。BALZERS ST 801は、最大8つのターゲットをスパッタリングすることができる非常に大きな真空チャンバーを備えています。チャンバー圧力は1〜1E-5 hPaの間で維持できます。このユニットには、高速ポンプダウンとチャンバー圧力の正確な制御のためのターボ分子ポンプも含まれています。このマシンは、反応性直流(DC)スパッタリング、高密度プラズマ強化DC (HiPED)、マグネトロンスパッタリングなど、あらゆる反応性と非反応性スパッタリング技術を生成することができます。ST 801は、高度でユーザーフレンドリーなリアルタイムグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も備えています。このユーザーフレンドリーなインターフェイスは、ターゲットの厚さ、電流、電力、周波数設定、およびその他の操作パラメータなどの主要なパラメータに簡単にアクセスできます。さらに、GUIには、選択した操作パラメータを微調整する専用のジョグホイールが含まれており、スパッタリングプロセスを迅速かつ正確に最適化するのに役立ちます。BALZERS ST 801はまた、非常に薄い層の高解像度、高速スパッタリングを提供する2つの電子ビームガンを備えています。これらの銃は、高解像度エッチング用途にも使用できます。この銃は、金属、シリコーン、半導体などのさまざまな種類の基板に微細なパターンを生成することができます。ST 801スパッタリングツールは、信頼性の高い性能と操作性を提供し、産業用および研究用の両方に適しています。このアセットは使いやすさのために設計されており、高速で正確で費用対効果の高いスパッタリングプロセスの最適化を可能にします。このモデルは、薄膜蒸着プロセスを正確に制御し、高品質の薄膜結果を必要とする人に最適です。
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