中古 BALZERS LLS 802 #9313125 を販売中

BALZERS LLS 802は、幅広いスパッタリング用途に高度で効率的な蒸着プロセスを提供するために設計された最先端のスパッタリング装置です。このデバイスは、最大8種類のスパッタリングターゲットを使用することができ、最大8種類の材料の多層堆積を可能にします。また、高度な電源技術によりプロセスの信頼性が高く、安定した高性能スパッタリングプロセスを実現しています。LLS 802は、1時間あたり0。1ミクロンから0。2ミクロンまで調整できるスパッタレートを備えており、優れた均一性と蒸着率の安定性、およびほとんどのアプリケーションで98％以上の均一性を備えています。薄膜から大面積ディスプレイまで、幅広い用途でスパッタリングプロセスの効率を最大限に高めます。このシステムは独自のオートメーション機能を備えており、複数のプロセスに使用できる完全に自動化されたロードロック、スパッタリングプロセスのエンドポイントを精密に制御するためのオプションのコンピュータ制御の自動エンドポイント検出を備えています。また、リモートコントロール機能を備えており、プロセス進行中のテレビ監視を可能にします。単位は熱的に安定しています、従って沈殿物プロセスの均等性を与える表面の温度の均等性を保障する。BALZERSには不活性ガス供給もあり、低温でのスパッタエッチングやスパッタ蒸着にも使用できます。さらに、ロードロックの温度範囲は20°C〜1000°Cで、スパッタリング条件やプロセス安定性を正確に制御できます。さらに、このマシンには強力なソフトウェアがあり、スパッタパラメータの正確なオペレータ制御、現場でのプロセス監視の強化、複数のプロセスとエンドポイント制御の自動化を可能にします。その内蔵真空インバータ技術は、迅速なダウンタイムを可能にするだけでなく、スパッタ処理に必要な高真空を維持し、制御する能力。全体として、BALZERS LLS 802は強力で信頼性の高いデバイスで、豊富な機能セットを備えているため、多くのタイプのスパッタリングアプリケーションに最適です。高度な自動化機能と強力なソフトウェアにより、高度なプロセス制御と精度を提供し、蒸着プロセスの効率を向上させ、信頼性の高いスパッタプロセスを保証します。