中古 BALZERS LLS 802 #293813030 を販売中

BALZERS LLS 802は産業規模の生産のために設計されている高度のスパッタリングツールです。この装置は、低消費電力のRFジェネレータを使用して材料を電子ビームにさらし、基板に堆積させます。このスパッタリングシステムは、チャンバーサイズが800mm x 400mmで、広範囲にわたって非常に均一で欠陥のない成膜を提供します。また、温度や出力電力などの蒸着パラメータも幅広く提供しています。LLS 802ユニットは、さまざまな薄膜材料のスパッタリングに最適です。アルミニウム、金、ニッケル、銅、チタンなどの薄膜を堆積することができます。このマシンには、基板のスパッタ洗浄用のセントラルゲート、基板ホルダー、ガスインジェクタ、高周波グランドコネクションも含まれています。このツールは、薄膜トランジスタ、電子部品、薄膜電池など、さまざまな薄膜のスパッタリングに使用できます。このアセットは、コーティングに関しても柔軟性を提供します。モデルは、電気特性を変更することによって適用する必要があるあらゆるフィルムに合わせて調整することができます。この装置は、誘電体、導体、半導体フィルム、および接着層、拡散障壁、酸化層、および曲面にフィルムを適用するために使用できます。BALZERS LLS 802には、ベルト駆動基板トランスポータと1。3*10-3 mbarの小さなベースプレッシャーを備えた真空チャンバーも装備されています。これにより、制御された環境で高品質のスパッタリングプロセスが可能になります。また、25°Cから400°Cまでのさまざまな温度制御オプションを提供し、さまざまな蒸着プロセスを可能にします。LLS 802スパッタリングユニットは、信頼性と効率的なプロセス制御のために構築されています。自動ドアインターロック、緊急停止バルブ、緊急遮断バルブなど、多くの安全機能が含まれています。また、プロセスオートメーション、データ取得、レポート生成にも使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供しています。BALZERS LLS 802は、工業生産における薄膜層のスパッタリングに最適なツールです。その様々な特徴と最先端の技術により、最高水準の成膜を実現しています。これは、ユーザーに高い均一性、良好な再現性、欠陥のない層、および効率的なプロセス制御を提供するように設計されています。