中古 BALZERS LLS 801 #9240378 を販売中

BALZERS LLS 801は、幅広い薄膜およびコーティング用途の製造用に設計されたスパッタ装置です。これは、優れた材料伝達、高いフィルム均一性、およびフィルムパラメータの高精度制御で高い蒸着速度を提供する陰極アーク蒸着（CAD）技術を利用しています。このシステムは最先端のコンポーネントと直感的なソフトウェアを備えており、信頼性が高く、堅牢で高効率な研究および生産活動の選択肢となっています。LLS 801は、狭いスペースに設置できるシンプルでコンパクトなデザインです。クリーンな環境と高真空を維持できるターボ分子ポンプを含む真空部品を統合しています。このユニットには、真空チャンバーにプロセスガスを導入することを可能にするバルブと配管を備えたガスボックスも含まれています。さらに、部屋の温度は壁を暖めることによって調節することができます。このマシンには、直感的なプログラミング、ビジュアライゼーション、データ収集ツールを備えた高度なPCベースのユーザーインターフェイスが搭載されています。これは、パワーレベル、ターゲット組成、基板温度、ソースのガス流量など、スパッタリングプロセスに影響を与えるさまざまなパラメータを正確に制御および監視するために使用できます。これはスパッタされたフィルム内の均一性を確保し、再現性を向上させるのに役立ちます。このツールは、半導体、誘電体、金属、絶縁体、ポリマーなど、幅広い材料の薄膜を準備するのに最適です。フィルムの成膜厚、組成、構造を微調整することができ、オプトエレクトロニクスやディスプレイデバイスからエネルギー貯蔵、その他のマイクロエレクトロニクスデバイスまで、幅広い産業用途に最適です。BALZERS LLS 801アセットは、高度にカスタマイズされた薄膜を作成する柔軟性をユーザーに提供します。さらに、このモデルは、すべての堆積パラメータを正確に制御し、ウェーハ全体にわたって高い均一性を提供します。この機器は使いやすく、使いやすいソフトウェアと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。これにより、研究環境と生産環境の両方に非常に適しています。