中古 BALZERS LLS 801 #9199165 を販売中

BALZERS LLS 801スパッタ装置は、スパッタ率の高い薄膜の効率的かつ正確な蒸着を提供するために設計された汎用性の高いツールです。このシステムには3ポケットタレットが装備されており、スパッタ率の異なる一度に最大3つの材料を蒸着させることができ、均質な薄膜蒸着につながります。高容量ロードロックユニットにより、基板の迅速な設置と取り外しが可能で、効率が向上します。大型ワーキングチャンバーにより更に強化され、最大直径180mmの4基板加工が可能です。LLS 801はモジュラー設計を備えており、特定のニーズを満たすために幅広い構成を可能にします。それは7x10-8 mbarの基盤圧力を達成するのに3段階のターボ真空ポンプを利用します。このツールには85MHzのRF電源が搭載されており、最適なフィルム品質とスパッタレートを得るために、最大800Wの超高出力レベルを実現します。また、オプションのパルス電源を使用して、より高い蒸着速度を実現できます。BALZERS LLS 801はマイクロ波の基板加熱モジュールを自動化し、400°Cまでの精密な均質な加熱を可能にします。このプロセスは、結節を防止し、ターゲットの使用を確保するのに役立つ乱流発生器でさらに強化されています。スパッタリングモードの変更は、Circle Sweep Magnetic ConfinementとOpen Flux Exceptionが組み込まれているため、粒子反発を低減し、品質とフィルムカバレッジの直線性を向上させることができます。LLS 801は汎用性と洗練されたスパッタリングアセットで、望ましい特性を持つ薄膜の効率的かつ正確な沈殿物を生成することができます。モジュラー設計、複数の構成、および強化された機能により、さまざまなアプリケーションのニーズを満たすことができます。BALZERS LLS 801は、自動化されたマイクロ波基板ヒートモジュール、効率的なロードロックモデル、および超高出力レベルを備え、薄膜堆積物に最適なソリューションです。