中古 BALZERS HVS-107 #9254561 を販売中

BALZERS HVS-107は、リヒテンシュタインのBALZERS Companyによって開発された高真空スパッタリング装置で、さまざまな産業用途の基板上に薄膜コーティングを堆積するために使用されます。このシステムは、複数の独立したスパッタリング源と組み合わせた超高真空チャンバーを使用して、高品質のコーティングを適用する強力で汎用性の高い手段を提供します。HVS-107の部屋は0。1 mbarの基盤圧力に避難のために組み立てられるステンレス鋼の真空容器で構成されます。基板の均一なスパッタリングを促進するために、チャンバーの内部にイオン化ガスを準備します。静電安全シールドは、高エネルギーのプラズマ放電からのさらなる保護を提供します。チャンバーには複数のポートが装備されており、基板を握るためのさまざまな特殊工具や治具、マグネトロン、プラズマトロン、ECR源などのさまざまなソースに接続できます。BALZERS HVS-107のスパッタリング源は独立して制御され、複数の材料の同時または交互の堆積を可能にします。各ソースにはカスタム設計された石英ドームがあり、電極材料の選択と永久磁石で裏打ちされてイオンのプラズマを作成します。このプラズマは高温で維持され、次に基板に向けられます。イオン密度と電圧を適切なレベルに保つことにより、コート堆積のプロセスは非常に反復可能で効率的である可能性があります。HVS-107ユニットは、高い蒸着率を達成することができ、金、アルミニウム、チタンなどの金属から窒化ケイ素などの誘電体まで、幅広い材料を堆積することができます。機械はまた高められた性能のための多数の部品から成っている合成のコーティングを沈殿させることができます。オプションのインラインモニタリングセンサーと組み合わせると、正確な設定でツールをプログラムすることができ、すべてのコーティングサイクルとの再現性と一貫性を確保します。BALZERS HVS-107は強力で効率的なスパッタリングアセットで、優れた均一性と再現性を備えた高性能コーティングを堆積することができます。このモデルは、医療用インプラント、半導体部品、光学部品の製造など、幅広い産業および技術用途で信頼性の高い精密な成膜を提供するように設計されています。