中古 BALZERS / EVATEC MSP 1000 #9164752 を販売中

BALZERS/EVATEC MSP 1000スパッタリング装置は、さまざまな材料に薄膜コーティングするために設計されたハイエンドシステムです。マルチチャンバーユニットで、複数の蒸着源をスパッタ蒸着に使用できます。この機械は、二次電子放出モニターを搭載し、最適な性能を確保した最初の機械です。自動イジェクト機構を採用し、基板搬送が容易です。この資産には4つの交換可能なスパッタリング源があり、それぞれが厚さ、組成、または多層蒸着によってコーティングすることができます。源は窒素/アルゴンガスの組合せであり、24mbarまでスパッタリングの速度があります。EVATEC MSP 1000には、最大6つの基板を同時に保持するロードロックを備えたプロセス反応チャンバーがあります。このモデルは、最大500x500 mmの基板に対応でき、追加のアクセサリ部品でより大きな基板をコーティングする機能も備えています。基質の温度は25°Cから800°Cに調整することができます。蒸着プロセスは、高度なマイクロプロセッサベースの制御ユニットを使用して監視および制御されます。このユニットはPCとインターフェースされており、堆積パラメータを正確に制御できます。装置は、均一な蒸着を確保し、汚染を低減するために構築されており、ベローズシールゲートバルブと真空漏れ検出器が含まれています。システムには、ガス混合物を正確かつ便利に制御するためのオプションの自動ガス供給ユニットが付属しています。ガス搬送機は反応室にガスラインで接続されています。このラインはスパッタ源にも接続されており、手動ガス交換の必要性を防ぎます。スパッタソースは、正確な位置制御のためのステッピングモーターとエンコーダを備えています。BALZERS MSP 1000は、薄膜成膜用の高度なスパッタリングツールです。活性スパッタリング源、蒸着制御機能、安全対策により、様々な蒸着プロセスに対応できます。その高度な制御ユニット、ガス配送モデル、およびその他の機能は、汚染を最小限に抑えて正確で効率的な堆積を保証します。