中古 BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #9387714 を販売中

BALZERS/EVATEC Clusterline 200は、PVD（物理蒸着）、陰極アーク蒸着、反応スパッタリング、パルスレーザー蒸着などのプロセス用に設計されたスパッタリング装置です。このシステムには構成可能なアーキテクチャがあり、新しいプロセスや既存のプロセスへのアップグレードを簡単に統合できます。このユニットは、最大11個の独立したスパッタモジュールで構成でき、それぞれが異なるコーティングまたは基板をスパッタするように構成でき、最大5,000 Angstroms/minの蒸着速度を実現します。また、2つの試験チャンバーを追加して、サンプルの表面粗さや硬度の評価などの品質保証測定に使用できます。各スパッタモジュールには強力なデジタルRF （Radio-Frequency）電源が装備されており、ユーザーはコーティングパラメータを非常に正確に制御できます。さらに、このツールには独立した温度および圧力制御システムが装備されており、さまざまな基板およびコーティングにわたって一貫した沈着結果を保証します。さらに、この資産には包括的な安全モデルが装備されており、すべての業界基準を確実に満たしています。最後に、EVATEC Clusterline 200は信頼性が高く、メンテナンスが容易であるため、稼働時間が長く、パフォーマンスが長持ちします。全体として、BALZERS Clusterline 200は、一貫したコーティングと正確な測定を提供するように設計された信頼性の高い効率的なスパッタリング装置です。