中古 BALZERS Corona #9254502 を販売中

BALZERS Coronaは、幅広い基板にわたる高精度コーティング厚さを正確に制御する必要があるアプリケーション向けに設計されたハイエンドスパッタリング装置です。このシステムは、光学コーティングにおける最も要求の厳しい技術要件のニーズを満たすように設計されています。真空チャンバー、スパッタ源、ターゲットホルダー、蒸着源の脂肪吸引、回転アセンブリ、遮断トラック、およびガードで構成されています。真空チャンバーは耐久性の高いステンレス製で、避難ユニットを備えています。これにより、基板がクリーンで高真空プロセスガスのみにさらされ、汚染やその他の不純物から保護されます。チャンバーの内壁には、アルミニウムと窒化ホウ素タイルが並んでおり、エネルギッシュな粒子を吸収し、コーティング工程中のイオンの逆散乱を低減します。スパッタ源は、優れたプロセス安定性を促進し、堆積膜との接触を低減する誘電および磁気シールドで作られています。この機械は金属、酸化物、窒化物および炭化物を放出することができます。各スパッタリング源は、ターゲット曲率と基板回転を可能にするために個別に調整することができます。ターゲットホルダーは、さまざまなサイズのターゲットを保持し、簡単でクリーンな除去を可能にするように設計されています。蒸着源は、脂肪吸引を使用して基材の上に取り付けることができ、非常に均一なコーティング厚さを提供します。回転アセンブリを使用して、成膜プロセス中に基板が回転するようにし、カバレッジ品質、表面平坦度、厚さの均一性を最適化します。シャットオフトラックも付属しているため、堆積プロセスがいつ終了するかをユーザーが判断できます。最後に、コーティングプロセス中に基板に偶発的なスパッタや衝撃を防ぐためにガードが提供されます。コロナのスパッタリングツールは、高精度コーティングのための正確で反復可能な結果を提供するのに理想的です。よく設計された部品により、この資産は優れた接着性と正確な光学特性をもたらします。高品質な結果を必要とする要求の厳しいプロジェクトに最適です。