中古 BALZERS Corona #9254500 を販売中
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BALZERSコロナは、革新的な高真空コーティングシステムとコンポーネントの製造に特化したスイスの企業であるBALZERSによって製造されたスパッタ装置です。コロナシステムは、マグネトロンスパッタリングに使用され、ガラス、金属、有機材料などのさまざまな表面に異なる層を堆積させることができます。このユニットは、高度な材料の高精度スパッタリング用に特別に設計されています。これは、高層密度、完全に滑らかで均質なコーティング、透明なコーティング、コーティング厚とステップカバレッジの両方のタイトな制御などの特性の範囲を達成することができる超多用途のスパッタリングツールと見なされます。BALZERS Coronaは、自動生産プロセスに最適なソリューションであり、プロトタイプ開発にも適しています。スパッタリングマシンは、2つのアクティブターゲット、2つのパッシブターゲット、3つの基板ホルダーを備えた水平形状の真空チャンバーを使用しています。アクティブターゲットは磁場強化(CFM)ターゲットで、パッシブターゲットはフランジが取り付けられています。プロセス電力、圧力、電流、温度はすべてコーティングプロセス中に監視され、調整可能であり、タイトなプロセス制御が可能です。直径300mm、長さ450mmまでの基板加工が可能です。このアセットには、自動ターゲット変更モデルや内部ガス加熱装置などのオプションも用意されており、制御された安定したコーティング温度が得られます。コロナシステムには、ユーザーに必要なすべての情報を提供する高度なオペレーティングソフトウェアも装備されています。堆積パラメータ、ジョブログを表示し、ユーザーが特定のアプリケーションのニーズに合わせて設定やプロセスをカスタマイズできるようにすることができます。全体的に、BALZERSコロナスパッタリングユニットは、高度な材料の高精度スパッタリングのための効率的で信頼性の高いツールです。レイヤー成膜の可能性が広がり、レイヤーからレイヤーまで様々な特性が得られます。この機械は、所望のコーティング結果を得るために、制御された安定したコーティング温度とタイトなプロセス制御を保証します。そのハイエンド技術のおかげで、このツールは産業および研究アプリケーションに適しています。
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