中古 BALZERS Circulus M 95/12 #9137154 を販売中

BALZERS Circulus M 95/12は、さまざまな用途で薄膜を堆積させるために使用される洗練された、かつ操作しやすいスパッタリング装置です。このシステムは、95 keVまでのエネルギーでスパッタすることができる高精度の意志のない電磁発電機と12 Teslaまで調整可能な磁場を備えており、ユーザーはプロセスに必要な堆積パラメータを正確に定義することができます。発電機は、基板上のスパッタ材料の均質化を改善するために回すことができる回転カソードに接続されています。カソードの周りに取り付けられた追加の電極をオプションで使用することで、選択的なスパッタリングをさらに強化することができます。このユニットは、高い生産スループットを目指して設計されており、直径12。5cmまでの円形の開口部を備えた最大基板サイズ200×200mmを誇っています。それは独立したガスおよび圧力制御が付いている大容量のガスの流れのコントローラー（GFC）機械と合い、非常に精密なスパッタリングプロセス制御を可能にします。このツールはまた、高精度の電圧スキャン機能を提供し、オプションの自動配置キットを介して可変温度および電力変調を提供し、基板の均質性をさらに向上させます。BALZERS Circulus M 95/12は、磁気記録媒体、薄膜トランジスタ、コンデンサ、ハイエンドオプティクス、MEMSデバイスなど、幅広いスパッタリング用途に適しています。この資産は、24ヶ月の部品および労働保証に裏打ちされた信頼性と堅牢性が高く、CEおよびUL規格に準拠することが認証されています。BALZERS Circulus M 95/12は、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、デジタルコントロールセンター、自動イベントロギング機能を備え、研究、プロトタイピング、生産スパッタリングアプリケーションに最適なマシンです。